133 935
правок
Pvp (обсуждение | вклад) Нет описания правки |
Pvp (обсуждение | вклад) Нет описания правки |
||
Строка 37: | Строка 37: | ||
В настоящее время - доцент Исследовательской школы физики высокоэнергетических процессов ТПУ. | В настоящее время - доцент Исследовательской школы физики высокоэнергетических процессов ТПУ. | ||
==Научная деятельность== | |||
Направления научной деятельности: | |||
- моделирование процессов в плазме магнетронного разряда; | |||
- моделирование процессов реактивного магнетронного напыления; | |||
- диагностика плазмы оптическими и зондовыми методами. | |||
Основные результаты научной деятельности: | |||
- разработана модель критической электронной эмиссии из диэлектрика в вакуум при инжекции наносекундного пучка электронов высокой плотности тока; | |||
- разработана методика обработки вольт-амперных характеристик двойного зонда Ленгмюра и определения параметров плазмы при близких частотах зонда и магнетронного источника; | |||
- разработан метод определения температуры и концентрации электронов в плазме магнетронного разряда, основанный на сравнении данных оптической спектроскопии и результатов расчетов по столкновительно-излучательной модели. | |||
==Педагогическая деятельность== | ==Педагогическая деятельность== | ||