133 804
правки
Pvp (обсуждение | вклад) Нет описания правки |
Pvp (обсуждение | вклад) Нет описания правки |
||
Строка 22: | Строка 22: | ||
Направления научной деятельности: | Направления научной деятельности: | ||
микроэлектромеханические (МЭМС) инерциальные датчики; | * микроэлектромеханические (МЭМС) инерциальные датчики; | ||
моделирование работы МЭМС сенсоров; | * моделирование работы МЭМС сенсоров; | ||
технологии изготовления применяемые в МЭМС индустрии. | * технологии изготовления применяемые в МЭМС индустрии. | ||
==Педагогическая деятельность== | ==Педагогическая деятельность== |